說(shuō)明:
硅晶片在溫度變化過(guò)程中的形貌測(cè)量快速熱處理(RTP)是硅晶片制造過(guò)程中的一個(gè)重要步驟,在這一過(guò)程中,晶片會(huì)在短時(shí)間內(nèi)被加熱至高溫,然后以可控的方式緩慢冷卻,以賦予晶片所需的半導(dǎo)體特性。硅晶片在溫度變化過(guò)程中的形貌測(cè)量對(duì)其性能穩(wěn)定性至關(guān)重要。本文將探討瑞士丹青 S neox 三維輪廓測(cè)量系統(tǒng)在硅晶片溫度形貌測(cè)量方面的突出優(yōu)勢(shì)。硅晶片作為一種新型半導(dǎo)體材料,具有高熱導(dǎo)率、高電子遷移率和高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn),因此在航空航天、汽車電子、可再生能源等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。然而,硅晶片在高溫度環(huán)境下的形貌變化對(duì)其性能有著重要影響,因此對(duì)其進(jìn)行精確的溫度形貌測(cè)量至關(guān)重要。瑞士丹青 S neox 三維輪廓測(cè)量系統(tǒng)是一款高精度的非接觸式三維形貌測(cè)量?jī)x,能夠在不同溫度下對(duì)硅晶片進(jìn)行精確測(cè)量。通過(guò)采用先進(jìn)的光學(xué)掃描技術(shù),S neox 可以捕捉到晶片表面微小的形貌變化,為科研與生產(chǎn)提供可靠的數(shù)據(jù)支持。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):1、高精度:瑞士丹青S neox 采用內(nèi)先進(jìn)的光學(xué)掃描技術(shù),測(cè)量精度高達(dá)納米級(jí)別,確保了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。2、非接觸式測(cè)量:避免了對(duì)碳化硅晶圓表面的物理?yè)p傷,確保了樣品的完整性。3、快速掃描:S neox具有快速掃描功能,能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量樣品的測(cè)量,提高工作效率。通過(guò)S neox 的精確測(cè)量,科研人員和企業(yè)可以更好地了解硅晶片在溫度變化過(guò)程中的形貌變化規(guī)律,進(jìn)而優(yōu)化生產(chǎn)工藝,提高產(chǎn)品質(zhì)量。此外,SensoSCAN軟件可協(xié)助自動(dòng)化操作,減少人工干預(yù),提高測(cè)量效率和重復(fù)性。瑞士丹青 S neox三維輪廓測(cè)量系統(tǒng)作為一款先進(jìn)的三維形貌測(cè)量?jī)x,其在硅晶片溫度形貌測(cè)量方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。借助S neox三維輪廓測(cè)量系統(tǒng) ,企業(yè)可以更好地掌握產(chǎn)品質(zhì)量,提高生產(chǎn)效率,為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。
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現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的目標(biāo)是為便攜式產(chǎn)品開(kāi)發(fā)具有越來(lái)越小和更薄封裝的電子設(shè)備。實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)最重要的步驟之一是通過(guò)機(jī)械研磨工藝將加工后的硅晶片從背面減薄至 50μm 以下。為了避免應(yīng)力和亞表面損傷,這對(duì)表面粗糙度要求非常高,在最終研磨步驟中,該粗糙度可能在 1 nm Ra 的范圍內(nèi)。測(cè)量這一等級(jí)的表面粗糙度的常用方法是通過(guò)共聚焦顯微鏡 (CFM)、白光干涉儀 (WLI) 或原子力顯微鏡 (AFM) 進(jìn)行單點(diǎn)或是劃線測(cè)量。但這些儀器的缺點(diǎn)是對(duì)機(jī)械環(huán)境噪聲敏感,測(cè)量時(shí)間長(zhǎng)。這里,我們將介紹一種新型的散射光測(cè)量方法,該方法能夠在不到 30 秒的時(shí)間內(nèi)測(cè)量直徑300 mm整個(gè)晶圓表面。除了粗糙度,傳感器還同時(shí)測(cè)量翹曲、波紋度和缺陷。同時(shí)將展現(xiàn)采用不同粒度研磨表面的測(cè)試結(jié)果分析。 晶圓表面加工工藝過(guò)程極小和高密度電子產(chǎn)品的趨勢(shì)需要先進(jìn)的工藝來(lái)滿足設(shè)備的厚度和熱性能規(guī)格。這意味著處理后的硅晶片必須從其原始厚度超過(guò) 700 µm 減薄至 50 µm 或更小。最常見(jiàn)且成本相對(duì)較低的減薄方法是通過(guò)機(jī)械去除殘余硅的背面研磨。晶片固定在多孔真空吸盤(pán)上,IC(集成電路)面朝下。砂輪的旋轉(zhuǎn)軸與晶片的旋轉(zhuǎn)軸離軸定位(距離是晶片的半徑)??ūP(pán)呈略呈圓錐形的形狀,以很小的傾斜度使晶片變形,以確保砂輪在研磨過(guò)程中僅接觸晶片的一半。由于卡盤(pán)的旋轉(zhuǎn)和砂輪的同時(shí)旋轉(zhuǎn),在晶片表面上產(chǎn)生了典型的螺旋劃痕圖案。根據(jù)砂輪的粒度以及轉(zhuǎn)速和進(jìn)給率等加工參數(shù),這種機(jī)械沖擊是造成粗糙度、應(yīng)力和誘發(fā)亞表面損傷的原因。因此,現(xiàn)代晶圓磨床從粗砂輪開(kāi)始,先是快速去除多余硅,最后使用小粒度砂輪進(jìn)行精細(xì)研磨。當(dāng)減薄至 50 µm 以最大程度地減少次表面損傷和應(yīng)力時(shí),這個(gè)最終過(guò)程是絕對(duì)必要的。表面粗糙度通常應(yīng)在 Ra 當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法的局限性是砂輪與其大量單刀刃的相互作用,與硅表面經(jīng)歷不均...
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全自動(dòng)螺紋測(cè)量機(jī)爆破鉆桿測(cè)量測(cè)試在當(dāng)今的石油勘探領(lǐng)域,射孔槍作為一種關(guān)鍵的鉆井工具,承擔(dān)著震碎井下地質(zhì)結(jié)構(gòu)、提高油氣抽取效率的重要任務(wù)。然而,由于其工作的特殊性和環(huán)境的復(fù)雜性,射孔槍的質(zhì)量和性能成為影響鉆井效率和安全的關(guān)鍵因素。由于射孔槍是破壞性的消耗品,因此其用量很大,需要高效且精確的檢測(cè)設(shè)備來(lái)保證其質(zhì)量。該項(xiàng)目的檢測(cè)設(shè)備需要能夠集成到生產(chǎn)線中,并且能夠全自動(dòng)地檢測(cè)管件內(nèi)螺紋的各種參數(shù),如大徑、小徑、中徑、螺距等。此外,該設(shè)備還需滿足普通螺紋規(guī)程和標(biāo)準(zhǔn),能夠自動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)結(jié)果判定,并在檢測(cè)異常時(shí)及時(shí)反饋給產(chǎn)線PLC,以便于及時(shí)處理。為此,某石油制造公司與一家智能系統(tǒng)股份公司合作,引入了瑞士丹青科技全自動(dòng)螺紋測(cè)量機(jī),以提高射孔槍的檢測(cè)效率和精度。瑞士丹青科技的萬(wàn)能螺紋測(cè)量?jī)x是一種全自動(dòng)測(cè)量?jī)?nèi)外螺紋的設(shè)備。這款測(cè)量?jī)x具有高精度和高效率的特點(diǎn),適用于多種螺紋類型的測(cè)量,包括圓柱螺紋、管螺紋、錐螺紋等。它符合多種國(guó)際標(biāo)準(zhǔn),如ANSI/ASME、BS、ISO、DIN、JIS等,并具有認(rèn)證技術(shù),確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。這套全自動(dòng)螺紋測(cè)量機(jī)的引入,不僅提高了射孔槍的檢測(cè)效率和精度,也為我國(guó)的石油勘探事業(yè)提供了有力的技術(shù)支持。我們相信,在科技的助力下,我國(guó)的石油勘探事業(yè)將取得更大的突破和進(jìn)步。
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軸類應(yīng)用的精密守護(hù)者瑞士丹青科技軸類水平儀親愛(ài)的朋友們,大家好!在今天的推送中,我們將聚焦于軸類應(yīng)用在極端環(huán)境下的精度監(jiān)測(cè)問(wèn)題,并為大家介紹一款能夠在各類環(huán)境中穩(wěn)定發(fā)揮的測(cè)量利器——軸類水平儀。這款儀器以其高分辨率和高靈敏度的特點(diǎn),成為了軸類應(yīng)用精密守護(hù)者。接下來(lái),讓我們一探究竟,看看軸類水平儀是如何在這些挑戰(zhàn)中發(fā)揮關(guān)鍵作用的。 極端海況下的挑戰(zhàn)在海上,大型船類曲軸面臨著劇烈振動(dòng)、溫度變化、腐蝕和長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行等挑戰(zhàn)。這些因素可能導(dǎo)致曲軸的變形、磨損,從而影響船舶的動(dòng)力輸出和安全性。在極端海況下,曲軸的精度尤為關(guān)鍵,任何微小的偏差都可能導(dǎo)致整個(gè)船舶系統(tǒng)失效。瑞士丹青科技軸類水平儀的專業(yè)解決方案瑞士丹青科技軸類水平儀專門(mén)設(shè)計(jì)用于解決這些挑戰(zhàn),提供高精度的測(cè)量數(shù)據(jù),確保曲軸的精確水平。它的耐腐蝕材料和抗振動(dòng)設(shè)計(jì),使其能夠在惡劣的海洋環(huán)境中穩(wěn)定工作。此外,軸類水平儀的溫度補(bǔ)償技術(shù)能夠自動(dòng)調(diào)整因溫度變化引起的數(shù)據(jù)偏差,保障數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。瑞士丹青科技軸類水平儀的這些特點(diǎn)使得它能夠準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)曲軸的微小傾斜和偏移,確保動(dòng)力系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。在某大型遠(yuǎn)洋貨輪的曲軸校準(zhǔn)現(xiàn)場(chǎng),瑞士丹青科技軸類水平儀的表現(xiàn)證明了其卓越性能:- **精確監(jiān)控**:軸類水平儀精確檢測(cè)曲軸的微小傾斜和偏移,確保動(dòng)力系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。在極端海況下的測(cè)試中,曲軸的傾斜度保持在預(yù)定的安全范圍內(nèi),避免了潛在的運(yùn)行風(fēng)險(xiǎn)。- **快速響應(yīng)**:高靈敏度使得工程師能夠迅速發(fā)現(xiàn)并糾正曲軸的任何偏差。在緊急情況下,軸類水平儀迅速識(shí)別出曲軸的微小偏移,工程師及時(shí)進(jìn)行了調(diào)整,避免了潛在的安全隱患。- **可靠數(shù)據(jù)**:通過(guò)軸類水平儀提供的高分辨率數(shù)據(jù),工程師能夠?qū)ηS的穩(wěn)定性進(jìn)行評(píng)估,優(yōu)化船舶的運(yùn)行方案。在航行前,軸類水平儀的數(shù)據(jù)分析幫助工程師識(shí)別出潛在的曲軸磨損問(wèn)題,及時(shí)進(jìn)行了更換,確保了航行的安全。瑞士丹青科技軸類水平儀以其高分辨率和高...
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內(nèi)徑測(cè)量?jī)x革新者瑞士丹青SUBITO系列內(nèi)徑測(cè)量?jī)x,憑借其深厚的歷史底蘊(yùn)和卓越的測(cè)量性能,已經(jīng)贏得了眾多企業(yè)的認(rèn)可。這款設(shè)備有著百年歷史,是精密內(nèi)徑測(cè)量的兩點(diǎn)接觸設(shè)備,適用于工序前和最后的檢測(cè),尤其適合高精度批量生產(chǎn)的零件檢測(cè)。測(cè)孔專家瑞士丹青SUBITO系列內(nèi)徑測(cè)量?jī)x采用兩點(diǎn)接觸測(cè)量方式,適用于工序前后的精密檢測(cè),特別適合高精度批量生產(chǎn)的零件檢測(cè)。設(shè)備在測(cè)量孔徑過(guò)程中,測(cè)頭通過(guò)中板自動(dòng)對(duì)中,中板寬度越寬,對(duì)中精度越高,測(cè)量結(jié)果越可靠。但在測(cè)量過(guò)程中,還需注意確認(rèn)反轉(zhuǎn)點(diǎn),并通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量規(guī)獲取最小顯示值。此外,連接桿采用特殊的鎳合金材料,以確保測(cè)量精度。精準(zhǔn)檢測(cè)瑞士丹青OD塞規(guī)測(cè)量系統(tǒng)是一種具有自動(dòng)顯示、自動(dòng)定中心功能的高精度測(cè)量?jī)x器,適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)測(cè)量。通過(guò)手動(dòng)測(cè)量可以檢測(cè)出孔的尺寸偏差和形狀誤差,也可安裝在測(cè)量設(shè)備上進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。適用通孔、盲孔、錐孔、臺(tái)階孔、方孔等測(cè)量。神器加持瑞士丹青IFM內(nèi)錐孔端面直徑測(cè)量系統(tǒng)可用來(lái)對(duì)內(nèi)錐孔端面直徑實(shí)施準(zhǔn)確快速測(cè)量,特別適用于螺釘沉孔、各類中心孔、錐孔以及各種槽的倒角、皮帶輪架等。由于所配指示表為函數(shù)表,可直接讀數(shù)。根據(jù)錐孔角度的不同,IFM測(cè)頭錐面角度有90°和127°兩種??梢愿鶕?jù)用戶的要求特別開(kāi)發(fā)各種專用量具。遙遙領(lǐng)先瑞士丹青Osimess系列兩瓣式小孔徑快速量?jī)x,重復(fù)精度高,可檢測(cè)孔的圓度和橢圓度,內(nèi)置式彈性體提供了連續(xù)的測(cè)力,因此消除了人為因素帶來(lái)的測(cè)量誤差??梢钥焖俚恼{(diào)整到所需尺寸模塊式結(jié)構(gòu),配置各種附件后可滿足任何的測(cè)量需求,尤其適用小孔的測(cè)量,以及實(shí)驗(yàn)室中高精度要求孔徑測(cè)量。瑞士丹青SUBITO系列內(nèi)徑測(cè)量?jī)x以精密測(cè)量、可靠性能和百年品牌歷史,樹(shù)立了行業(yè)內(nèi)優(yōu)質(zhì)測(cè)量設(shè)備的典范。無(wú)論是產(chǎn)品質(zhì)量還是技術(shù)支持,都具備高度的可信度,是企業(yè)值得信賴的選擇。我們誠(chéng)摯地歡迎各行業(yè)關(guān)注并深入了解SUBITO系列內(nèi)徑測(cè)...
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集成式渦輪轉(zhuǎn)子測(cè)量和組裝平臺(tái) “通過(guò)減少效率低下的轉(zhuǎn)子組件拆卸次數(shù),省去昂貴的拆卸費(fèi)用及時(shí)間,提高生產(chǎn)率并實(shí)現(xiàn)更高的質(zhì)量水平” 瑞士丹青GeoSpin高精度轉(zhuǎn)子測(cè)量和裝配優(yōu)化平臺(tái)是一種先進(jìn)的檢測(cè)設(shè)備,主要用于航空工業(yè)中對(duì)于零件,尤其是轉(zhuǎn)子和機(jī)匣的精確測(cè)量和優(yōu)化裝配。其主要功能包括測(cè)量圓度、跳動(dòng)、平面度、同軸度、平行度等關(guān)鍵尺寸參數(shù),以確保零部件的加工質(zhì)量和裝配精度。典型案例應(yīng)用: 1、測(cè)量各種尺寸和尺寸的飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī),工業(yè)燃?xì)廨啓C(jī)和蒸汽輪機(jī)的大型圓形零件,例如回轉(zhuǎn)軸承和光學(xué)組件。2、監(jiān)視大型旋轉(zhuǎn)軸的電氣跳動(dòng)(ERO)。3、計(jì)算圓形幾何形狀,包括圓度,偏心率,直徑和平面跳動(dòng),平面度和平行度。該測(cè)量機(jī)可以測(cè)量零件的連續(xù)內(nèi)外表面、不連續(xù)內(nèi)外表面,同時(shí)獲得多個(gè)截面圓度、跳動(dòng)、平面度、平行度、同軸度等測(cè)量數(shù)據(jù)。該儀器可以用于車間現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè),尤其是在高噪音、高震動(dòng)等惡劣環(huán)境下工作,可以對(duì)零件進(jìn)行準(zhǔn)確的調(diào)心調(diào)平。(儀器可以根據(jù)用戶特殊需要訂制)CHOOSE US1. 全自動(dòng)——電動(dòng)軸提高了穩(wěn)定性并減少了人為錯(cuò)誤,從而使軌距的可重復(fù)性和再現(xiàn)性(量規(guī) R&R)提高了10倍,比手動(dòng)系統(tǒng)的同心度測(cè)量提高了3.5倍。 2. 廣泛的產(chǎn)品范圍——我們的產(chǎn)品范圍涵蓋(所有飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)零件,從20–5000千克到最大的陸上燃?xì)鉁u輪盤(pán),重量15000kg及以上。3. 廣泛采用——我們是轉(zhuǎn)子和磁盤(pán)測(cè)量的專家,在全球范圍內(nèi)已安裝數(shù)百臺(tái)。4. 全貌——我們?yōu)槟峁┍雀?jìng)爭(zhēng)對(duì)手多4倍的檢測(cè)數(shù)據(jù),這意味著您可以真正了解零部件(和組件)的形狀。5. 完全優(yōu)化的轉(zhuǎn)子組件——我們的IntelliStack軟件旨在優(yōu)化轉(zhuǎn)子組件,以最大程度地減少跳動(dòng)或不平衡,或?qū)?我們的檢測(cè) 數(shù)據(jù)直接導(dǎo)出到您自己的堆疊軟件中。 6. 全包(包)式——完全控制更改和創(chuàng)建自己的檢驗(yàn)?zāi)0?,以及與客戶和供應(yīng)商...